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9 月 11 日消息，消息行业媒体 Digitimes 昨日（9 月 10 日）发布博文，称台报道称台积电确认将在两年内退出氮化镓（GaN）代工业务，积电旧厂降成关闭新竹科学园区的整合转向自研星空体育网站入口官网手机版 6 英寸二厂，并整合 8 英寸三厂（Fab 3、英寸Fab 5、薄本Fab 8）。膜提

报道称台积电为缓解用工紧缺、良率降低运营成本并优化产能利用率，消息抽调约 30% 的称台员工将调往南部科学园区及高雄厂区，这也是积电旧厂降成球速体育台积电自 2025 年初启动旧厂精简计划以来的重要一步。

援引博文介绍，整合转向自研6 英寸工厂将转型为 CoPoS 面板级封装生产基地，英寸而 8 英寸厂则将承担一项出人意料的薄本新任务 —— 量产自研 EUV 光罩薄膜（Pellicle）。

台积电此举意在摆脱对 ASML 及其供应链的膜提依赖，同时利用自身研发与制造能力，一方面提升先进制程的 EUV 光刻良率，另一方面也可以更好地控制成本。

台积电在过去 10 年里先进制程投入创纪录的资本支出，但随着摩尔定律逼近物理极限，单纯依赖资本投入的收益在减弱。EUV 光刻虽带来了更小的制程节点，却需昂贵设备支持 —— 单台扫描机约 1.5 亿美元，High-NA 版本更超过 3.5 亿美元且由 ASML 垄断。因此，台积电放缓了 High-NA 设备采购，转而加快薄膜技术布局。

EUV 薄膜是覆盖在光罩上的保护膜，用于防止颗粒污染。然而传统有机材料透光性与稳定性不足，多数晶圆厂只能无薄膜生产，需频繁检测并更换光罩，增加成本与停机时间。台积电认为薄膜对 7nm 以下制程至关重要，自研方案有望优化生产流程、扩大产能并提升盈利能力。

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